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选择适当气体对气敏元件进行处理是气敏元件表面修饰的重要方法，本文利用ＳＯ２对Ｈ２Ｓ气敏元件进行了不同条件的处理，使得气敏元件的灵敏度和选择性得到了明显的改善。
表面气氛处理对气敏元件特性的影响
【摘 要】
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选择适当气体对气敏元件进行处理是气敏元件表面修饰的重要方法，本文利用ＳＯ２对Ｈ２Ｓ气敏元件进行了不同条件的处理，使得气敏元件的灵敏度和选择性得到了明显的改善。
【机 构】
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吉林大学电子工程系
【出 处】
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高等学校化学学报
【发表日期】
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1994年10期
【基金项目】
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国家自然科学基金，“八五”攻关项目
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