衬底温度对直流磁控溅射法制备掺锆氧化锌透明导电薄膜性能的影响

• 作 者: 张化福 刘瑞金 刘汉法 陈钦生 王新峰 梅玉雪
• 机 构: 山东理工大学理学院
• 出 处: 人工晶体学报
• 发表日期: 2004年期
• 关键词: 掺锆氧化锌 衬底温度 直流磁控溅射 薄膜 zirconium-doped zinc oxide substrate temperature DC magnetr
• 基金项目: Shandong Province Natural Science Foundation

利用直流磁控溅射法在石英衬底上制备出了高透明导电的掺锆氧化锌(ZnO:Zr)薄膜.研究了衬底温度对ZnO:Zr薄膜结构、形貌及光电性能的影响.XRD表明实验中制备的ZnO:Zr为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,具有垂直于衬底方向的c轴择优取向.实验所制备ZnO:Zr薄膜的晶化程度和导电性能对衬底温度有很强的依赖性.当衬底温度为300 ℃时, ZnO:Zr薄膜具有最小电阻率7.58×10-4 Ω·cm,其可见光平均透过率超过了91%.