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【摘 要】
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为了满足高性能光电器件对单层MoS_2的需要,文中采用扫描电镜和拉曼光谱,研究了保温生长时间和氩气流速对硫化三氧化钼化学气相沉积法在蓝宝石衬底上生长MoS_2形貌、尺寸、结
【机 构】
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西安工业大学电子信息工程学院,西北工业大学机电学院
【出 处】
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西安工业大学学报
【发表日期】
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2018年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金(51671151)
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The general situ