圆形霍尔板参数对MEMS霍尔器件性能影响研究

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利用ANSYS有限元分析软件对的工作状态进行计算,分析霍尔器件灵敏度与霍尔板(霍尔器件工件区域)结构尺寸关系,研究形状对器件灵敏度的影响。结果表明:圆形霍尔板灵敏度比矩形霍尔板的高,当圆形霍尔板的半径与厚度比值为20时,灵敏度最高。 Using ANSYS finite element analysis software to calculate the working state, the relationship between the sensitivity of the Hall device and the structure size of the Hall plate (Hall device workpiece area) is analyzed, and the influence of the shape on the sensitivity of the device is studied. The results show that the sensitivity of the circular Hall plate is higher than that of the rectangular Hall plate. When the ratio of the radius to the thickness of the circular Hall plate is 20, the sensitivity is the highest.
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