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提山了一个新的直流反应溅动力学模型。该模型能够比现有模型更全面地预测稳态及各种因素对稳态的影响。例如，对稳态反应溅射时反应气体分压与流量的关系，现有模型只能给出流量随分压变化的部分情况，而动力学模型能够预测完整的滞后效应曲线。动力学模型还对反应溅射中的几个基本现象(稳态跃变、滞后现象和异常稳态)的物理本质提出了新的见解。论文对薄膜成分控制做了一些探索，并在理论研究结果指导下制备了TiAlOx太阳能选择性吸收膜。