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本文研究了使用混合遗传算法的器件模型参数提取。该混合遗传算法结合了全局寻优的遗传算法和局部寻优的Powell算法，以改善单纯使用遗传算法局部收敛速度较慢这一不足。为了进一步加快算法的速度，提出了在混合算法开始阶段控制Powell迭代次数的策略。文中以GaAs MESFET小信号模型的参数提取为例，说明了算法的效果。