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深入研究了a-Si/a-Si/a-SiGe三结叠层通讯卫星电池的制备技术,为了提高叠层电池的转换效率,提出改善n/i界面特性的缓冲层技术和高光敏性a-SiGe;H(F)薄膜的高氢气稀释比,低反应气压的淀积技术,通过工艺优化,研制了AM1(100mW/cm^2)光照下转换效率为11.5%的a-Si/a-Si/a-siGe三结叠层太阳电池。