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Au—GaAs(iii)界面特性的研究
Au—GaAs(iii)界面特性的研究
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:plumblossommeihua
【摘 要】
:
我们对Au—GaAs(īīī)界面进行了角分辨AES和UPS研究。分析了Au、Ga和As原子在热退火前后的界面行为,同时由功函数变化定性地讨论了界面势垒的形成。
【作 者】
:
何丕模
刘古
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1990年2期
【关键词】
:
Au-GaAs
界面
原子扩散
功函数变化
Interface
Atomic difusion
Segregation
Work function Cha
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我们对Au—GaAs(īīī)界面进行了角分辨AES和UPS研究。分析了Au、Ga和As原子在热退火前后的界面行为,同时由功函数变化定性地讨论了界面势垒的形成。
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