不同测试电压下多壁碳纳米管湿度传感器的稳定性

• 作 者: 赵振刚 陈伟平 刘晓为 李拓 王鑫
• 机 构: 哈尔滨工业大学微电子科学与技术系,哈尔滨,150001哈尔滨工业大学微电子科学与技术系,哈尔滨150001;微系统与微结构教育部重点实验室,哈尔滨150001
• 出 处: 纳米技术与精密工程
• 发表日期: 2012年3期
• 关键词: 碳纳米管(CNTs) 湿度传感器 稳定性 势垒 薛定谔方程

为提高碳纳米管(CNTs)湿度传感器的检测精度,研制了一种电阻型碳纳米管湿度传感器.阐述了传感器的结构、工作原理与制作过程,并对传感器的稳定性进行了实验与理论分析.建立并求解了对应于两根碳纳米管间势垒的薛定谔方程.分析结果表明传感器内部碳纳米管的稳定决定了传感器的稳定性,并且测试电压会影响碳纳米管的稳定性对传感器电阻波动的影响.实验结果表明传感器的工作电压影响着传感器的稳定性,当测试电压为5V时传感器电阻波动范围大约是工作电压为15V时的5倍.