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介绍了一种基于FPGA技术的新型数字X荧光谱仪的实现。阐述了半导体探测器、精密信号放大和高速数据采集等模块电路的设计。重点阐述了在FPGA内部实现数字脉冲成形、峰值判别和多道幅度分析等数字处理的技术细节。整个系统的分析软件基于VisualC++6.0开发环境,采用C++编程语言实现。经过实际测试,系统在能量分辨率和脉冲计数率等主要技术指标上获得了满意的效果。