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Ｃ－Ｎ簿膜是目前国际上刚刚兴起的一种新型超硬材料。理论上，它的体膜量和硬度比金刚石还要高。在半导体和抗磨涂层等领域有广阔的应用前景。文中介绍了新型Ｃ－Ｎ簿膜材料的发展概况、几种典型的制备方法、结构及性能特点，分析了Ｃ－Ｎ膜的发展方向及其应用前景。
新型超硬C-N薄膜材料
【摘 要】
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Ｃ－Ｎ簿膜是目前国际上刚刚兴起的一种新型超硬材料。理论上，它的体膜量和硬度比金刚石还要高。在半导体和抗磨涂层等领域有广阔的应用前景。文中介绍了新型Ｃ－Ｎ簿膜材料的发展概况、几
【机 构】
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西北工业大学
【出 处】
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兵器材料科学与工程
【发表日期】
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1998年4期
【基金项目】
：
航空科学基金
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