微细电火花加工关键技术研究

• 作 者: 李勇 王显军 郭旻 周兆英 严晓敏 胡敏
• 机 构: 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084
• 出 处: 清华大学学报（自然科学版）
• 发表日期: 1999年8期
• 关键词: 微型机械 微细电火花加工 蠕动式微进给机构 微小工具电极 微小孔

围绕微细电火花加工的实现,对微细电火花加工的关键技术进行了研究.开发出由蠕动式微进给机构、微小能量放电电源、微小电极线放电磨削机构、精密旋转主轴头、加工状态检测与控制系统等构成的微细电火花加工装置.探讨了微细电火花加工微小轴、高深宽比微小孔、非圆截面形状和三维结构成型、以及半导体硅材料等的工艺方法.实验加工出的微小轴和孔的最小直径分别小于25μm和50μm,最大深宽比分别超过20和10.