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光刻技术是半导体工业的“领头羊”,而电子束光刻是目前分辨率最高、使用最灵活的光刻技术.本文首先介绍了光刻技术、典型的下一代光刻技术,分析了电子束光刻技术的全球和中国专利申请情况,并对如何抑制或补偿电子束光刻中的邻近效应进行了详细的分析.
电子束光刻技术综述
【摘 要】
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光刻技术是半导体工业的“领头羊”,而电子束光刻是目前分辨率最高、使用最灵活的光刻技术.本文首先介绍了光刻技术、典型的下一代光刻技术,分析了电子束光刻技术的全球和中国专利申请情况,并对如何抑制或补偿电子束光刻中的邻近效应进行了详细的分析.
【机 构】
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国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心 北京 100160;国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心 北京 100160;国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心 北京 100160
【出 处】
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数字化用户
【发表日期】
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2021年13期
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