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文章用Brice的理论对O~+注入GaAs进行了计算和讨论。计算给出了氧离子注入GaAs的射程分布与能量淀积分布;计算中发现在x为小值处的能量淀积分布值偏高的原因应是多方面的;文章并从Markov过程的观点对Brice的P(E,E′,R)方程的推导进行了讨论。
氧注入砷化镓的射程分布与能量淀积分布
【摘 要】
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文章用Brice的理论对O~+注入GaAs进行了计算和讨论。计算给出了氧离子注入GaAs的射程分布与能量淀积分布;计算中发现在x为小值处的能量淀积分布值偏高的原因应是多方面的;文
【机 构】
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北京师大量子力学小组,北京师大数学系
【出 处】
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北京师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1978年2期
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