【摘 要】
：
薄膜缺陷会降低薄膜器件的使用性能,因此薄膜缺陷的产生机理和防治措施研究非常重要。综述了薄膜涂覆中缺陷的分类及其形成,分析了产生缺陷的影响因素,并对主要缺陷的防治方
【机 构】
：
北京工业大学机械工程与应用电子技术学院
【基金项目】
：
国家自然科学基金项目（10502002）,北京市人事局“留学归国人员择优资助项目”
论文部分内容阅读
薄膜缺陷会降低薄膜器件的使用性能,因此薄膜缺陷的产生机理和防治措施研究非常重要。综述了薄膜涂覆中缺陷的分类及其形成,分析了产生缺陷的影响因素,并对主要缺陷的防治方法作了总结。对防治方法进行机理分析,总结了去除非连续缺陷过程中的注意原则。结果表明,薄膜缺陷分为连续性缺陷和非连续性缺陷,连续性缺陷最重要的影响因素是表面溶液的蒸发和表面张力的变化,可以通过设计涂覆溶液和涂覆模具最大程度地避免。非连续性缺陷中最主要的缺陷是气泡和杂质,气泡可以通过去气和去泡两种方式去除,杂质可以过滤去除。研究表明薄膜涂敷中缺陷防治
其他文献
2019年是新中国成立70周年,也是西藏和平解放68周年、民主改革60周年。60多年来,西藏水利水电工程建设从无到有,从小到大,西藏防汛抗旱减灾工作也从无到有、从弱到强,经过几
论述了清单计价的特点以及在市政工程投标中应注意的重要环节，指出工程量清单报价不是一项简单、机械的工作，而是一项复杂的系统工程，施工企业必须熟悉掌握工程量清单报价法的技
介绍了杭州市某柔性系杆拱桥端横梁事故处理的过程,特别是端横梁大体积混凝土切割的方法,希望能对类似的拱桥设计施工有所帮助,作为类似事故处理的参考.
体育游戏教学法是新时期素质教育的有效方式之一，其科学地运用于高职院校的篮球教学，将有利于推动篮球教育的进一步普及化。体育游戏教学法在运用时，遵循安全性、合理性和循序渐
浙江省通过2014—2015年的基层防汛防台体系规范化建设,进一步完善了基层防汛防台组织责任、应急预案、监测预警、安全避险、抢险救援、宣传培训、运行保障七大体系,基层防汛
从选准项目经理，建好项目班子；实现事前管理；优化人力资源配置；强化成本管理；建立激励约束机制，严格审计监督制度等方面，对加强工程项目管理工作进行了探讨。
本文首先分析了自然条件对施工道路选线的影响，然后阐述了地形条件对施工道路选线的影响，在对选线方案进行了基本阐述的基础上，结合实例对某公路选线方案进行了分析并得到了推荐
针对高职学生的培养目标定位以及学习特点，对《电机学》的教学过程进行了研究探索，从教学方法和教学艺术两个方面给出了改革措施。通过改革课堂教学手段，改进实践教学，采用小班上