【摘 要】
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研究了N离子注入金属表面时温度对N原子深度分布的影响.在常温-460℃范围内N离子注入到α-Fe和316L奥氏体不锈钢中的深度分布显著依赖于注入温度和基体材料.随注入温度升高,
【机 构】
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中国工程物理研究院,西南交通大学材料工程系
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研究了N离子注入金属表面时温度对N原子深度分布的影响.在常温-460℃范围内N离子注入到α-Fe和316L奥氏体不锈钢中的深度分布显著依赖于注入温度和基体材料.随注入温度升高,α-Fe中N深度分布形态为准Gauss形、梯形和扩散形,并发现N注入存在'盲区'注入温度,N表观扩散系数与注入温度的关系完全偏离Arrhenius方程.在316L不锈钢中,N呈扩散形分布,其表观扩散系数与注入温度的关系与Arrhenius方程较吻合.通过Auger谱线形分析、X射线衍射分析和TEM组织分析,认为N注入
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