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随着微机电系统（MEMS）技术的发展，近年来钛及钛合金的微细群孔加工成为国内外研究的热点。虽然光刻电解加工结合了光刻技术和电解加工两者的优点，可实现高效、高精度金属微细群孔加工。但由于钛及钛合金表面极易钝化，常规电解加工难度很大。采用有机电解液有效地解决了加工过程中的表面钝化问题。此外，为克服电解加工过程中产物难以排出造成的腐蚀不均匀等难题，进行了激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究，在厚100μm纯钛薄板上进行了群孔加工，平均孔径为371μm，材料蚀除速率达到35μm／min。实验结果表明，通过激波产生