一种超高速触发器工艺技术的研究

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在等平面S工艺基础上,开发了一种ECL超高速D触发器的IC工艺制作技术,并优化其关键工艺,得出一套新的工艺控制方案和参数。用该工艺技术制作的晶体管截止频率fT最大值为5.4CHz(Vce=5V):制作的ECL超高速D触发器,在功耗电流只有30mA情况下,工作频率典型值为850MHz,最高可达900MHz以上,较好地解决了器件速度与功耗的矛盾。 On the basis of isoplane S process, an IC technology of ECL ultra-high-speed D-flip-flop has been developed and its key processes have been optimized. A new set of process control schemes and parameters has been obtained. The maximum cut-off frequency fT of the transistor produced by this process technology is 5.4CHz (Vce = 5V). The produced ECL ultra-high-speed D flip-flop has a typical operating frequency of 850MHz at a current consumption of only 30mA, 900MHz above, a better solution to the contradiction between device speed and power consumption.
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