【摘 要】
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硅上自然氧化物的表征和控制＝Ｃｈａｒ－ａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎａｎｄｃｏｎｔｒｏｌｏｆｎａｔｉｖｅｏｘｉｄｅｏｎｓｉｌｉｃｏｎ［刊，英］／ＯｈｍｉＴ．∥Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｂ．－１９９４，３３（１Ｂ）．－３７０～３７４描述了室温和直线升温...
Characterization and Control of Natural Oxides on Silicon = Char-acterization and controlofnativeoxideo
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硅上自然氧化物的表征和控制＝Ｃｈａｒ－ａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎａｎｄｃｏｎｔｒｏｌｏｆｎａｔｉｖｅｏｘｉｄｅｏｎｓｉｌｉｃｏｎ［刊，英］／ＯｈｍｉＴ．∥Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｂ．－１９９４，３３（１Ｂ）．－３７０～３７４描述了室温和直线升温...
Characterization and Control of Natural Oxides on Silicon = Char-acterization and controlofnativeoxideonsilicon [Journal, English] / OhmiT. ∥ Jpn. J. Appl. Phys. B. -1994,33 (1B). -370 ~ 374 describes the room temperature and linear heating ...
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