【摘 要】
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一、引言在离子探针(动态SIMS)质谱分析中,动态沾污离子的来源及其质谱特征是一个长期以来为人们所注意的基本课题.当分析是金属或半导体的样品时,在目前二次离子质谱仪器一
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一、引言在离子探针(动态SIMS)质谱分析中,动态沾污离子的来源及其质谱特征是一个长期以来为人们所注意的基本课题.当分析是金属或半导体的样品时,在目前二次离子质谱仪器一般能达到的分辨率条件下,这些沾污干扰离子往往与成份离子重叠在一起,很难辨认.有些
I. INTRODUCTION In the ion probe (dynamic SIMS) mass spectrometry, the source of dynamic contaminant ions and their mass spectrometry characteristics have long been a basic issue that people pay attention to. When the analysis is a metal or semiconductor sample, Ion-exchange mass spectrometry instruments generally reach the resolution conditions, these staining interference ions often overlap with the ingredient ions, it is difficult to identify some
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