论文部分内容阅读
本文分析讨论研制钢膜电阻温度传感器的几个关键技术和工艺,并说明光刻版的设计要与实验室的工艺条件相适应;蒸发源的纯度、镀膜室的真空度和基片的温度对镀膜的质量有重要影响;镀膜厚度对器件互换性有重大影响,光刻时要防止到蚀过量和刻蚀不足等.文中还公开了作者在这些方面的做法和体会.
铜膜电阻温度传感器研制中的几个关键技术分析
【摘 要】
：
本文分析讨论研制钢膜电阻温度传感器的几个关键技术和工艺,并说明光刻版的设计要与实验室的工艺条件相适应;蒸发源的纯度、镀膜室的真空度和基片的温度对镀膜的质量有重要影
【机 构】
：
华南师范大学量子电子学研究所,华南师范大学化学系,广东省乡镇企业科技开发服务中心
【出 处】
：
华南师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
：
1993年2期
其他文献
练习题是新知教学的必要延续和拓展,是学生巩固和消化所学知识并转化为技能的重要环节。数学学习离不开解题,对于习题的研究和教学,不仅仅要着眼于学生对新知的巩固,更要培养
期刊
创面软组织缺损目前西医治疗以植皮为主，植皮后疤痕形成大，影响关节功能。胫腓骨骨折术后胫骨前方皮肤缺损、骨外露是骨科常见病例，往往也是基层骨科医生在无显微外科条件下比较
1适应证除颅内肿瘤以外的全身各部位肿瘤。2禁忌证（1）绝对禁忌：孕妇和无法表述感觉的婴幼儿;有器质性中枢神经疾病、恶病质、水电解质严重紊乱、严重心肺功能不全者;严重感染不
北海市水产局在总结前两年人工鱼礁树的经验后，为扩大人工鱼礁设施，于1980年11月间在白虎头海面投放了人工鱼礁200座。对这种敢于实践的精神，受到钦州地区人工鱼礁经验交流会的
目的:采用平行对照方式,分析奥拉西坦治疗脑卒中的临床效果及药理作用。方法:选择纳入2018年2月至2019年8月时间段内72例脑卒中病例样本,根据入院先后进行随机交叉分组,设置
综述了Li／S电池电解质的研究进展，并对发展前景做了展望．
一、实验目的氢气的制取和性质实验是初中化学重要的实验内容，为增强学生的参与意识，提高实验兴趣，确保实验的安全，我们对实验进行了改进。
目的观察分析盐酸羟考酮注射液应用于开胸手术患者术后静脉自控镇痛的临床应用效果。方法选取唐山市人民医院胸外科择期行开胸手术并同意进行术后镇痛的患者190例,据患者选入
重点介绍采用三效浓缩预处理、石灰碱解、SBR生化处理和活性碳吸附等四段法综合治理有机磷农药废水的技术方案。特别推荐SBR降解有机磷农药的生物处理技术。针对公司生产工艺