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<正> 低压扫描电镜(LVSEM)的工作电压一般认为是在0.75到3～5kV范围内.其主要优点为:可以减少试样的荷电,直接观察非导体试样而不用涂覆,并减少图形的假象;穿透深度浅,提高图象的衬度和立体感;改进信号噪声比;对于半导体、塑料、高分子的生物试样还可以减少试样的辐射损伤.因此低压扫描电镜成为具有特色的电镜分析工具.近年来国外正在兴起低压