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根据近年文献资料和本所科研,阐述了有源矩阵液晶显示制造的工艺流程,厂房大致布局、缺陷、清洗及微粒抑制对策。
有源矩阵液晶显示器件制造中的微粒抑制对策
【摘 要】
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根据近年文献资料和本所科研,阐述了有源矩阵液晶显示制造的工艺流程,厂房大致布局、缺陷、清洗及微粒抑制对策。
【机 构】
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电子部第55研究所210016
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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1994年4期
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