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简述了用扫描热显微技术进行高空间分辨率热测量 试的技术特点和研究现状，介绍了实际测试的情况，初步分析了扫描热地和样品表面间的传热机理，提出了进一步研究的方向。
高空间分辨率的热测试技术：扫描热显微技术
【摘 要】
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简述了用扫描热显微技术进行高空间分辨率热测量 试的技术特点和研究现状，介绍了实际测试的情况，初步分析了扫描热地和样品表面间的传热机理，提出了进一步研究的方向。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1999年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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