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对ＡｌＮ陶瓷基板进行了减压直流等离子体喷涂镀Ａｌ，在基板表面形成厚度约２μｍ的金属Ａｌ薄层，实现了Ａｌ与ＡｌＮ中的良好接合。
氮化铝基板与Cu和Al的接合及其表面改质效果
【摘 要】
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对ＡｌＮ陶瓷基板进行了减压直流等离子体喷涂镀Ａｌ，在基板表面形成厚度约２μｍ的金属Ａｌ薄层，实现了Ａｌ与ＡｌＮ中的良好接合。
【机 构】
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中国科学院力学研究所
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金!59836220,,中国科学院95重大项目KJ951-1-20,,中国科学院力学研究所所长择优基金
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