【摘 要】
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采用直流反应磁控溅射法在玻璃基片上制备了 Ti O2 薄膜。靶材为纯度 99.9%的钛靶 ,溅射时基片不加热。XRD结果显示 ,所得 Ti O2 薄膜的晶型为锐钛矿相 ;SEM结果显示 ,随着热
【机 构】
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武汉理工大学,武汉理工大学,武汉理工大学,武汉理工大学,武汉理工大学
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采用直流反应磁控溅射法在玻璃基片上制备了 Ti O2 薄膜。靶材为纯度 99.9%的钛靶 ,溅射时基片不加热。XRD结果显示 ,所得 Ti O2 薄膜的晶型为锐钛矿相 ;SEM结果显示 ,随着热处理温度的增加 Ti O2 薄膜晶粒尺寸增大 ;光催化性能显示 ,经过 5 0 0℃热处理 1h后的 Ti O2 薄膜具有较好的光催化效率
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