【摘 要】
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在集成电路的历史发展中,线路复杂性每提高一步或片子尺寸每缩小一步,进而就需要一种更好的控制加工的方法。现在流行的设计规则,要求线路的高密度和片子的大尺寸。目前的生
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在集成电路的历史发展中,线路复杂性每提高一步或片子尺寸每缩小一步,进而就需要一种更好的控制加工的方法。现在流行的设计规则,要求线路的高密度和片子的大尺寸。目前的生产设备已接近其极限,结果造成产量降低、成本提高。这样又转而迫使增加投片数量,以达到所需要的生产水平。
In the history of integrated circuits, every step of circuit complexity or step-by-step reduction in the size of a circuit leads to a need for a better method of controlling the processing. Popular design rules nowadays demand a high density of lines and a large film size. The current production equipment is approaching its limit, resulting in lower production and higher costs. This, in turn, forced the increase in the number of spindles to reach the level of production needed.
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