【摘 要】
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一台新型线性测量干涉仪的光学元件排列与其它一般干涉仪不同。这种新型装置没有Abbe误差,并且精度比以前的装置提高总计十倍。Abbe误差是通过使试验束跨在由探针所占据的测
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一台新型线性测量干涉仪的光学元件排列与其它一般干涉仪不同。这种新型装置没有Abbe误差,并且精度比以前的装置提高总计十倍。Abbe误差是通过使试验束跨在由探针所占据的测量轴上消除的。再者,干涉仪的静空气路程与待测距离成正比。
The optical components of a new linear measuring interferometer differ from other general interferometers. The new device has no Abbe error and adds ten times more accuracy than previous devices. The Abbe error is eliminated by straining the test beam across the measurement axis occupied by the probe. Furthermore, the static air path of the interferometer is proportional to the distance to be measured.
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