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来源 :半导体学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
本文采用等离子本色散效应和大注入效应,通过EPW各向异性腐蚀的方法,在外延硅芯片上刻蚀形单波导,并采用纵向pn结构,对硅1.3-1.6μm电光强度调制器进行了初步研究,在注入电流密度为1.7×10^4A/cm^2时,调制
【作 者】
:
赵策洲
刘育梁
【机 构】
:
西安交通大学电子工程系
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1996年4期
【关键词】
:
电光强度调制器
硅
调制器
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