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用磁控溅射法在Ａｒ＋Ｎ２混合气氛中制备了性能优异的具有纲伙结构的Ｆｅ－Ｔａ－Ｎ软磁薄膜。氮原子以间原子的形式进入纳米形态的α－Ｆｅ的晶格中，并引起了相应的晶格的形变。随氮分压的提高，α－Ｆｅ晶粒尺寸迅速减小，在交换耦合作用下，表现出优异的软磁性能，氮分压较高时，Ｔａ原子和Ｎ原子将形成Ｔａ３Ｎ５化合物相，导致薄膜软磁性能的相应降低。