前制程关键设备取得重大技术突破

来源 :电子技术与软件工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaokun787

【摘要】

：

近日,装备子集团所属的北京中科信公司和上海微高公司在前制程关键设备上取得了重大的技术突破。在离子注入机领域,北京中科信公司"十二五"45-22nm低能大束流离子注入机低能减速技术取得新突破。低能减速技术作为低能大束流注入机的关键技术,直接关系到"十二五"项目的成败,一直以来,备受关注。从最初的无法

【出处】

：

电子技术与软件工程

【发表日期】

：

2014年11期

【关键词】

：

技术设备制程

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