【摘 要】
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为满足我国电子工业采用大规模集成电路的需要,我厂和清华大学以及有关单位密切协作,初步试制成负型光刻胶302。负型光刻胶302是橡胶型光致抗蚀剂的一种。主体是高聚物系,由
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为满足我国电子工业采用大规模集成电路的需要,我厂和清华大学以及有关单位密切协作,初步试制成负型光刻胶302。负型光刻胶302是橡胶型光致抗蚀剂的一种。主体是高聚物系,由国产聚异戊二烯橡胶环化而成,在双叠氮型光交联剂的存在下(并加少量增感剂二苯甲酮),以二甲苯为溶剂配制而成,是一种感光胶液。其感光交联过程为:
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