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本文提供电容传感器线性测量小位移的一种方法，并对其特点在理论上给予证明．
小位移电容传感器原理分析
【摘 要】
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本文提供电容传感器线性测量小位移的一种方法，并对其特点在理论上给予证明．
【出 处】
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辽宁大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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0年LNDZ804.010期
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