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气体中的杂质有气态杂质和悬浮颗粒,而颗粒是由很复杂的金属、非金属,无机化合物、有机化合物组成的,并有一定浓度的常见元素。鉴于气体中的颗粒不能绝对完全被分离,国内目前只能分离出大于0.2μm以上的颗粒,因此,有关对气体中金属、非金属的分析研究值得商榷。
气体中的颗粒与金属杂质探讨
【摘 要】
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气体中的杂质有气态杂质和悬浮颗粒,而颗粒是由很复杂的金属、非金属,无机化合物、有机化合物组成的,并有一定浓度的常见元素。鉴于气体中的颗粒不能绝对完全被分离,国内目前
【机 构】
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中国科学院半导体研究所北京100083
【出 处】
：
低温与特气
【发表日期】
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1992年2期
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