【摘 要】
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利用高能量（＞１５ｋｅＶ）、脉冲氮离子束增强沉积（ＩＢＥＤ）Ｆｅ－Ｎ磁性薄膜．合成了含有α－Ｆｅ、α″－Ｆｅ１６Ｎ２、γ′－Ｆｅ４Ｎ和ε－Ｆｅ２～３Ｎ相的纳米多晶薄膜．Ｆｅ－Ｎ薄膜的磁性取决于膜层的相结构及微观形貌．纳米尺度的α″－Ｆｅ１６Ｎ２和α－Ｆｅ相的混合物膜层的饱和
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连理工大学材料工程系
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利用高能量（＞１５ｋｅＶ）、脉冲氮离子束增强沉积（ＩＢＥＤ）Ｆｅ－Ｎ磁性薄膜．合成了含有α－Ｆｅ、α″－Ｆｅ１６Ｎ２、γ′－Ｆｅ４Ｎ和ε－Ｆｅ２～３Ｎ相的纳米多晶薄膜．Ｆｅ－Ｎ薄膜的磁性取决于膜层的相结构及微观形貌．纳米尺度的α″－Ｆｅ１６Ｎ２和α－Ｆｅ相的混合物膜层的饱和磁化强度可达２４５ｅｍｕ／ｇ．多元ＩＢＥＤＦｅ－Ｃｏ－Ｎ合金薄膜与相同制备条件下合成的Ｆｅ－Ｎ薄膜相比，其相结构相似，但饱和磁化强度提高，矫顽力降低．
Pulsed nitrogen ion beam enhanced deposition (IBED) Fe-N magnetic thin film with high energy (> 15 keV). The nano-polycrystalline films containing α-Fe, α “-Fe16N2, γ’-Fe4N and ε-Fe2 ~ 3N phases were synthesized. The magnetic properties of the Fe-N films depend on the phase structure and the morphology of the films. The saturation magnetization of the α ”-Fe16N2 and α-Fe phase mixture films can reach 245 emu / g. Compared with the Fe-N thin films synthesized under the same preparation conditions, the multivariate IBEDFe-Co-N alloy films have similar phase structure but higher saturation magnetization and lower coercivity.
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