【摘 要】
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功率模块用最新的IGBT性能已有了显著提高,且已经非常接近物理极限。作为下一代IGBT功率模块,我们已经在1.2kV级别上提出了CSTBT~(TM)(Ⅲ)的概念,主要体现为精细加工的沟槽栅
【机 构】
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三菱电机公司,北京微电子技术研究所,北京时代民芯科技有限公司,
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功率模块用最新的IGBT性能已有了显著提高,且已经非常接近物理极限。作为下一代IGBT功率模块,我们已经在1.2kV级别上提出了CSTBT~(TM)(Ⅲ)的概念,主要体现为精细加工的沟槽栅结构和CS层(载流子存储层)倒退型掺杂分布。基于CSTBT~(TM)(Ⅲ)的概念,我们优化了1.7kV级的MOS结构,同时改进了为发射极电极表面新开发的平坦化技术,以扩大功率循环能力。
Power modules with the latest IGBT performance has been significantly improved, and has been very close to the physical limits. As the next generation IGBT power module, we have proposed the concept of CSTBT (TM) (III) at the level of 1.2kV, which is mainly reflected by the finely machined trench gate structure and the CS layer (carrier storage layer) Miscellaneous distribution. Based on the concept of CSTBT (TM) (III), we optimized the 1.7kV MOS structure while improving the newly developed planarization technique for the emitter electrode surface to expand power cycling capability.
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