论文部分内容阅读
Bragg-Fresnel元件是近10年来发展起来的新型反射式射元件,它的设计理论和制作 技术的研究是设计,制造元件并应用于X射光学系统中的重要环节。介绍了Bragg-Fresnel元件的量子设计理论,元件性能模拟计算结果,元件中衍射图形制作技术及元件中多层膜结构稳定性等方面的研究结果,并以18nm工作波长一维聚焦Bragg-Fresnel元件样片作为实例给出检测结果。