【摘 要】
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采用多弧离子镀技术在4Cr13不锈钢上沉积TiN薄膜,在其他参数不变的条件下,研究不同弧电流下薄膜的组织、结构及性能.利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪和
【机 构】
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桂林电子科技大学材料科学与工程学院
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采用多弧离子镀技术在4Cr13不锈钢上沉积TiN薄膜,在其他参数不变的条件下,研究不同弧电流下薄膜的组织、结构及性能.利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪和往复式摩擦磨损仪分别对薄膜进行表面形貌观察,物相分析,以及表面硬度、结合力、耐磨性检测.实验结果表明：孤电流对薄膜的表面形貌有明显的影响,随着弧电流的增大,薄膜表面的液滴数目和尺寸逐步增大;薄膜的相结构主要由TiN相组成,在（111）面有较强的择优取向,且随着弧电流的增大,衍射峰强度略有增加;随着孤电流的增大,薄膜的硬度先增大后减小,硬
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