【摘 要】
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研究2Al2铝合金精密件表面在低温磁控溅射沉积TiN薄膜过程中,基体表面粗糙度对成膜过程及薄膜显微硬度的影响.结果表明,低温磁控溅射沉积处理几乎不改变2Al2铝合金精密件基体
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研究2Al2铝合金精密件表面在低温磁控溅射沉积TiN薄膜过程中,基体表面粗糙度对成膜过程及薄膜显微硬度的影响.结果表明,低温磁控溅射沉积处理几乎不改变2Al2铝合金精密件基体原始表面形貌,对其精密加工状态具有遗传性或复制性.通过显微硬度测试表明,随着2Al2铝合金精密件加工精度的提高,基体表面粗糙度降低,TiN薄膜的显微硬度稳定在19 MPa以上,满足了2Al2铝合金精密测试杆特殊功用的要求
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