【摘 要】
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引言众所周知,在大规模工业生产中,硬质合金TiN、Tic、Al_2O_3及复合涂层主要采用传统CVD工艺(>1000℃)。基体和涂层之间易产生脆性的η相,涂层刀具的强度比未涂层的几乎下
【机 构】
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冶金部钢铁研究总院,冶金部钢铁研究总院
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引言众所周知,在大规模工业生产中,硬质合金TiN、Tic、Al_2O_3及复合涂层主要采用传统CVD工艺(>1000℃)。基体和涂层之间易产生脆性的η相,涂层刀具的强度比未涂层的几乎下降50%。另一方面,PVD法虽能降低反应温度、涂层韧性较好,但涂层与基体间的结合强度较差。又由于绕镀不好,涂层试样需要转动,从而给操
Introduction As we all know, in the large-scale industrial production, TiN, Tic, Al 2 O 3 and composite coatings mainly use the traditional CVD CVD process (> 1000 ℃). A brittle η phase is easily produced between the substrate and the coating, and the strength of the coated tool is reduced by almost 50% compared with that of the uncoated coating. On the other hand, although the PVD method can reduce the reaction temperature, the coating has good toughness, but the bonding strength between the coating and the substrate is poor. Also due to poor plating around, coating samples need to rotate, which gives the operation
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