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各种蒸发光学薄膜都存在内应力,其性质和大小直接影响光学薄膜性能与质量。因此,薄膜内应力的精确检测具有重大的实用意义。本文介绍以高灵敏度的光纤传感器为变换器,以高分辨率的 CCD 为光信号检测器的内应力检测系统,具有灵活、结构小巧、精度高、实时测量等优点,实践证明是有效的。
CCD图像传感器在薄膜应力测量中的应用
【摘 要】
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各种蒸发光学薄膜都存在内应力,其性质和大小直接影响光学薄膜性能与质量。因此,薄膜内应力的精确检测具有重大的实用意义。本文介绍以高灵敏度的光纤传感器为变换器,以高分辨率的 CCD 为光信号检测器的内应力检测系统,具有灵活、结构小巧、精度高、实时测量等优点,实践证明是有效的。
【机 构】
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电子科技大学光电子学系成都610054
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1992年04期
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