【机 构】
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同济大学物理系玻耳固体物理研究所!上海200092,中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室!长春130022,中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室!长春130022,
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在 6.7<λ<1 0 .0 nm波段选择 Mo/ B4 C作为多层膜材料 ,并采用磁控溅射法制备出多层膜样品 .这些多层膜样品的周期结构为 3 .3 5 nm~ 5 .5 2 nm.采用 X射线衍射仪和透射电镜 (TEM)对样品的微观结构进行研究 .结构表明 ,这些多层膜样品的结构质量很高 ,并有很好的热稳定性 .
Mo / B4 C was selected as a multilayer material at 6.7 <λ <1.0 0 nm and multilayer films were prepared by magnetron sputtering.The periodic structure of these multilayer films was 3.35 nm ~5.52 nm.The microstructures of the samples were investigated by X-ray diffraction and transmission electron microscopy (TEM), and the results showed that the structures of these multilayer films were of high quality and good thermal stability.
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