化学气相沉积耐磨、耐热金刚石薄膜

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jemi0926
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化学气相沉积耐磨、耐热金刚石薄膜由于金刚石有最高的硬度、高的电阻、比Cu,Ag好的导热性、宽的谱线透过能力、很低的摩擦系数、良好的化学惰性,所以在许多应用领域都是一种理想材料。但由于它太昂贵,以致应用极少。然而,新的化学气相沉积(CVD)工艺,则可以... CVD wear-resistant, heat-resistant diamond films have the highest hardness due to diamond, high resistance, better thermal conductivity than Cu, Ag, wide spectral transmission, low coefficient of friction, good chemical inertness In many applications are an ideal material. But because it is too expensive, so rarely used. However, the new chemical vapor deposition (CVD) process, you can ...
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