半导体气体敏感元件及发展概况

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文中就气体敏感元件的分类、工作原理、制造及测试方法发展概况及主要动向做了简单概述。 近年来,半导体气体敏感元件在国内外都 In this paper, the classification of gas sensitive components, working principle, manufacturing and testing methods and overview of the development of the main trends made a brief overview. In recent years, semiconductor gas sensors are at home and abroad
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