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以羟基羧酸作为配位剂与金属离子配位,以乙二醇为交联剂促进聚合反应并以碳酸盐为反应原料,采用前躯体凝胶法在水溶液中制备铌酸锶钡(SrxBa1-xNb2O6,SBN)前驱体溶胶。将此溶胶在预热的Si/SiO2/Ti/Pt基片上旋转涂膜得到了平整均匀的SBN铁电薄膜。研究了PH值、乙二醇(EG)/柠檬酸(CA)(质量比)、热处理温度对SBN凝胶相组成、相结构以及SBN薄膜形貌的影响规律。结果表明当PH≥7且EG:CA=60:40时,可以获得稳定性良好的溶胶。对SBN薄膜热处理和红外光谱分析表明:随温度升高,SB