【摘 要】
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1.前言 近十年来,就阅读本刊几篇文章的读者来说,会清楚地看到,用溅射制造薄膜的方法,是从应用于制造粗质混合集成电路(1C)开始的,并作为制造电子器件的周边技术而逐渐地得到
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1.前言 近十年来,就阅读本刊几篇文章的读者来说,会清楚地看到,用溅射制造薄膜的方法,是从应用于制造粗质混合集成电路(1C)开始的,并作为制造电子器件的周边技术而逐渐地得到广泛使用(1-5)。作为制作薄膜的溅射装置来说,有几种方法是大家熟悉的,但无论是在日本还是在世界上,除?
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