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模拟了在低温底上沉积单层薄膜初期的表面形貌.提出了新的算法,实现了多个原子同时在沉积基底上移动的过程,克服了以往只能模拟基底上仅有一个运动原子的缺点,同时引入了沉积流量,并在此基础上讨论了移动步数、沉积流量等因素对生长的影响作用.模拟结果与实验相近,获得的花样具有分形特征.
薄膜生长初期多原子移动影响的模拟
【摘 要】
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模拟了在低温底上沉积单层薄膜初期的表面形貌.提出了新的算法,实现了多个原子同时在沉积基底上移动的过程,克服了以往只能模拟基底上仅有一个运动原子的缺点,同时引入了沉积
【机 构】
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浙江大学材化学院
【出 处】
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浙江大学学报(理学版)
【发表日期】
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2003年3期
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