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灵巧传感器清华大学自动化系高金山，王家桢，顾利忠集成传感器和灵巧（Ｓｍａｒｔ）传感器是随着大规模集成电路技术和半导体的精密细微加工及组装等技术的发展，而在８０年代发展起来的新型传感器，它是微处理器高性能化、低成本化的产物．集成传感器的敏感元件（换能元...
灵巧传感器
【摘 要】
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灵巧传感器清华大学自动化系高金山，王家桢，顾利忠集成传感器和灵巧（Ｓｍａｒｔ）传感器是随着大规模集成电路技术和半导体的精密细微加工及组装等技术的发展，而在８０年代发展起来的新型传感器，它
【机 构】
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清华大学自动化系
【出 处】
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中国仪器仪表
【发表日期】
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1995年2期
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