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本文介绍是最新研制成功的离子注入监测系统，由于采用了先进的四探针双位组合测量技术，该系统的功能和技术指标全部满足设计要求，为实现在线检测，改善工艺质量，提高器件成品率发挥了重要的作用。
离子注入监测系统的研制
【摘 要】
：
本文介绍是最新研制成功的离子注入监测系统，由于采用了先进的四探针双位组合测量技术，该系统的功能和技术指标全部满足设计要求，为实现在线检测，改善工艺质量，提高器件成品率发挥
【机 构】
：
中国计量科学院
【出 处】
：
现代计量测试
【发表日期】
：
1995年6期
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