用热阴极电离规中的离子漂移速度显示低真空区域的压强

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将Schulz—Phelps型高压强电离规加以改进即在其阴极和离子收集极的极板之 间加一个栅极,就可以用来测量高于 100Pa的压强。为达此目的,我们采用了均匀电 场和有平行平面电极的规结构,用离子在电场中的漂移速度与压强的依赖关系可以解释 该电离计的适用范围。从理论上所得的曲线(借助于电子管中常用的经典公式)和实验 测得的曲线都表现出相同的趋势,即在约 100Pa到 1000Pa范围内,栅极离子流与收 集极离子流之比(IG/IIK)和压强近似成线性关系 The Schulz-Phelps type high-pressure ionization gauge is modified to provide a grid between its cathode and ion collector plates to measure pressures higher than 100 Pa. To this end, we use a uniform electric field and a parallel plane electrode gauge structure, ion drift velocity in the electric field and the pressure dependence of the interpretation of the scope of the ionization gauge. The theoretically derived curves (with the aid of classical formulas commonly used in electron tubes) and experimental curves all exhibit the same trend that the ratio of the gate ion current to the collector ion current (in the range of about 100 Pa to 1000 Pa IG / IIK) and pressure are approximately linear
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